mikromekanik, tillverkning och användning av passiva eller aktiva mekaniska strukturer i

(11 av 70 ord)
Vill du få tillgång till hela artikeln?

Tillverkning

I tillverkningen av de flesta mikromekaniska komponenter och system utnyttjas ett litografiskt mönster som med ultraviolett ljus, röntgen- eller elektronstrålning överförs till ytan på det material

(26 av 179 ord)

Användning

Tunna strukturer, till exempel membran av kisel, utnyttjas i sensorer för mätning och övervakning av tryck i industriella och medicinska tillämpningar. Kisel har en stark piezoresistiv effekt, det vill säga en liten mekanisk töjning i membranet ger

(37 av 264 ord)

Medverkande

  • Bertil Hök
  • Jan-Åke Schweitz

Litteraturanvisning

Britt Ekvall och Mikkel Cronquist (redaktörer), Micro Electro Mechanical Systems ( 2011)
Jan-Åke Schweitz, ”Kugghjul, motorer och robotar mindre än ett sandkorn”, Forskning och Framsteg ( 1993).
Källangivelse
Nationalencyklopedin, mikromekanik. http://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/lång/mikromekanik