Alla försök att tränga ”bakom” sinnesförnimmelserna betraktas av empiriokritikerna som otillåten metafysik. Empiriokriticismens grundare var Richard Avenarius, och till dess företrädare brukar räknas bl.a. Ernst Mach. Ett angrepp mot empiriokriticismen från marxistiska utgångspunkter riktades av Lenin i hans skrift ”Materialismen och empiriokriticismen” (1909).