När en väl fokuserad stråle av elektroner får träffa ett preparat exciteras atomerna genom att elektronerna i atomhöljet slås ut. Vid återgången till normaltillståndet utsänds en för varje grundämne i preparatet karakteristisk röntgenstrålning. Denna fångas upp av en detektor. Ur de mätta intensiteterna hos topparna i det från detektorn erhållna